恒流泵具有超清潔、無碳氫化合物的真空環境的能力,故常被用戶選用。然而,用戶也偶爾會發現恒流泵不了不含碳氫化合物的真空環境。經調查發現碳氫化合物的來源,50%是操作失誤所帶來的問題,如恒流泵的前泵為油封式旋片泵時,沒有控制返流的安全閥,不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流,不合要求的安全閥也會引起油污染。 為了在系統中實現無碳氫化合物這要求,在前泵不是干式泵的情況下,有必要了解恒流泵的壓縮比及如何給泵充氣的些基本知識。
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